EUV光源工作原理_光纤测试/光电测试/光学测试/稳定光源高速光功率计/极性测试/LIV测试/激光测试/线序测试

获取波长为13.5nm的光是实现EUV光刻的一个重要步骤。激光等离子体（Laser-producedPlasma）极紫外光源（LPP-EUV光源）由于其功率可拓展的特性，成为了EUV光刻最被看好的高功率光源解决方案。这种光源通过将高功率的二氧化碳激光打在直径为30微米的锡液滴上，通过高功率激光蒸发锡滴，然后将蒸汽加热到电子脱落的临界温度，留下离子，再进一步加热直到离子开始发射光子。具体的步骤是多级的CO2激光通过传输与聚焦系统进入真空的EUV光源容器，打在由液滴生成器产生的锡滴上，生成的光经由收集器汇聚形成光源。EUV光刻对于工艺建立工具的要求为100W，对于量产的光源功率要求为250W。为了满足工业使用的高功率、高可靠性的性能要求，需要提高每个元件提取效率，从而获得更稳定、更高的激光器功率。

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